NF C96-050-16*NF EN 62047-16:2015
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo

Estándar No.

NF C96-050-16*NF EN 62047-16:2015

Fecha de publicación

2015

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF C96-050-16*NF EN 62047-16:2015

NF C96-050-16*NF EN 62047-16:2015 Historia

• 2015 NF C96-050-16*NF EN 62047-16:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo