Esta norma especifica los requisitos básicos, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad y compromisos de calidad del amoníaco ultrapuro de grado fotoelectrónico 7N. El producto amoníaco especificado en esta norma es adecuado para la industria de semiconductores, la deposición química de vapor de nitruro de silicio y nitruro de galio, y también puede usarse para amoníaco utilizado en procesos de producción como la nitruración de silicio u óxido de silicio. Fórmula molecular: NH3. Masa molecular relativa: 17.031 (según el peso atómico relativo internacional de 2016).
T/ZZB 1373-2019 Historia
2019T/ZZB 1373-2019 Amoníaco hiperpuro de clase fotoeléctrica 7N.