DB53/T 618-2014
Determinación del contenido de componentes del gas de cola de hidrogenación en la producción de polisilicio mediante cromatografía de gases (Versión en inglés)

Estándar No.

DB53/T 618-2014

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2014

Organización

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Ultima versión

DB53/T 618-2014

Alcance

Esta norma especifica el resumen del método, reactivos y materiales, instrumentos y dispositivos, pasos de análisis, cálculo de resultados, precisión e informe de prueba para la determinación del contenido de componentes del gas de cola hidrogenado en la producción de polisilicio mediante cromatografía de gases. Esta norma es aplicable a la determinación de hidrógeno (H2), cloruro de hidrógeno (HCl), diclorosilano (SiH2Cl2), triclorosilano (SiHCl3) y tetracloruro de silicio (SiCl4) en el gas de cola de hidrogenación.

DB53/T 618-2014 Historia

• 2014 DB53/T 618-2014 Determinación del contenido de componentes del gas de cola de hidrogenación en la producción de polisilicio mediante cromatografía de gases