Esta norma especifica los requisitos técnicos, las reglas de inspección, los métodos de prueba, el marcado, el embalaje, el almacenamiento y el transporte y la información de seguridad del bis(dietilamino)silano. Esta norma se aplica al bis(dietilamino)silano acabado de grado electrónico elaborado a partir de bis(dietilamino)silano de grado industrial como materia prima y purificado mediante destilación, filtración y filtración. Este producto se utiliza principalmente como precursor para preparar películas de SiO2 y películas de alto dieléctrico a base de silicio a bajas temperaturas.
T/DLSHXH 008-2022 Historia
2022T/DLSHXH 008-2022 Gas especial electrónico bis(dietilamino)silano