ISO 13424:2013
Análisis químico de superficies. Espectroscopia fotoelectrónica de rayos X. Informes de resultados de análisis de películas delgadas.
- Estándar No.
- ISO 13424:2013
- Fecha de publicación
- 2013
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 13424:2013
- Alcance
- Esta norma internacional especifica la cantidad mínima de información requerida en los informes de análisis de películas delgadas sobre un sustrato mediante XPS. Estos análisis implican la medición de la composición química y el espesor de películas delgadas homogéneas, y la medición de la composición química en función de la profundidad de películas delgadas no homogéneas mediante XPS con resolución de ángulo, perfilado de profundidad de pulverización catódica XPS, análisis de forma de pico y XPS de energía de fotón variable.
ISO 13424:2013 Documento de referencia
- ISO 18115-1:2010 Análisis químico de superficies - Vocabulario - Parte 1: Términos generales y términos utilizados en espectroscopia
ISO 13424:2013 Historia
- 2013 ISO 13424:2013 Análisis químico de superficies. Espectroscopia fotoelectrónica de rayos X. Informes de resultados de análisis de películas delgadas.
