T/CNIA 0060-2020
Determinación del contenido de fosfina en hidrógeno para polisilicio mediante cromatografía de gases. (Versión en inglés)

Estándar No.

T/CNIA 0060-2020

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2020

Organización

Group Standards of the People's Republic of China

Ultima versión

T/CNIA 0060-2020

Alcance

Esta norma especifica el método de cromatografía de gases para la determinación del contenido de fosfina en hidrógeno para silicio policristalino. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de fosfina en el hidrógeno utilizado para el polisilicio. El rango de medición es 0,02×10-9 ~ 1×10-5 (v/v).

T/CNIA 0060-2020 Historia

• 2020 T/CNIA 0060-2020 Determinación del contenido de fosfina en hidrógeno para polisilicio mediante cromatografía de gases.