T/CNIA 0017-2019 Determinación del contenido de impurezas en clorosilanos para polisilicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (Versión en inglés)
Esta norma especifica el método de espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente para la determinación de impurezas (boro, fósforo, hierro, calcio, aluminio, cromo, níquel, cobre, zinc, titanio, potasio, sodio) en clorosilanos para silicio policristalino. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de impurezas (boro, fósforo, hierro, calcio, aluminio, cromo, níquel, cobre, zinc, titanio, potasio, sodio) en clorosilanos para silicio policristalino. El rango de medición es 0 μg/L. ;～1000μg/L.
T/CNIA 0017-2019 Historia
2019T/CNIA 0017-2019 Determinación del contenido de impurezas en clorosilanos para polisilicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente