DB53/T 500-2013
Determinación del contenido del componente triclorosilano para polisilicio mediante cromatografía de gases. (Versión en inglés)

Estándar No.

DB53/T 500-2013

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2013

Organización

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Ultima versión

DB53/T 500-2013

Alcance

Esta norma especifica un método para determinar el contenido de los componentes SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4 y HCl en triclorosilano para silicio policristalino mediante cromatografía de gases. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4 y HCl en triclorosilano utilizado para la producción de silicio policristalino mediante el método Siemens modificado. Rango de medición: SiH2Cl2>0,01%, SiCl4>0,01%, HCl>0,01%.

DB53/T 500-2013 Historia

• 2013 DB53/T 500-2013 Determinación del contenido del componente triclorosilano para polisilicio mediante cromatografía de gases.