T/IAWBS 005-2018 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma se aplica a las obleas de pulido de carburo de silicio preparadas mediante pulido de una o dos caras de obleas abrasivas monocristalinas de carburo de silicio 4H y 6H de 6 pulgadas. Estipula la terminología relevante necesaria, clasificación de productos, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento, etc. para obleas pulidas de carburo de silicio monocristalino de 6 pulgadas 4H y 6H. Esta norma estipula que la orientación del cristal de las obleas de pulido de carburo de silicio es que la desviación ortogonal de la orientación del cristal de la orientación de la superficie de las obleas de pulido de carburo de silicio es: a) Orientación ortogonal del cristal: 0°±0,5°; b) Desviación de la dirección cristalográfica: la desviación de la dirección cristalográfica de las obleas pulidas de carburo de silicio es de 4°±0,5° u otros ángulos desde la línea normal de la superficie de la oblea hasta la dirección [1120] a lo largo del borde de posicionamiento principal. Al mismo tiempo, esta norma también estipula defectos superficiales, densidad de microtúbulos, calidad del cristal, resistividad, politipo, densidad de dislocaciones, etc.

T/IAWBS 005-2018 Historia

2018 T/IAWBS 005-2018 Obleas de carburo de silicio monocristalino pulido de 6 pulgadas