T/CNIA 0016-2019 Determinación del contenido de cloruro de hidrógeno, nitrógeno, oxígeno y carbono total en hidrógeno reciclado para polisilicio mediante cromatografía de gases (Versión en inglés)
Esta norma especifica el método de cromatografía de gases para la determinación del contenido de cloruro de hidrógeno, nitrógeno, oxígeno y carbono total en hidrógeno recuperado para silicio policristalino. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de cloruro de hidrógeno, nitrógeno, oxígeno y carbono total del hidrógeno recuperado para polisilicio. El rango de medición es (0-10000) × 10-6.
T/CNIA 0016-2019 Historia
2019T/CNIA 0016-2019 Determinación del contenido de cloruro de hidrógeno, nitrógeno, oxígeno y carbono total en hidrógeno reciclado para polisilicio mediante cromatografía de gases