Este documento especifica los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las reglas de inspección, el marcado, el embalaje, el transporte, el almacenamiento, los documentos adjuntos y el contenido del formulario de pedido del hexaclorodisilano, un subproducto del silicio policristalino del proceso mejorado de Siemens. Este documento se aplica al hexaclorodisilano, un subproducto producido durante la producción de polisilicio Siemens modificado.
T/CNIA 0114-2021 Historia
2021T/CNIA 0114-2021 Hexaclorodisilano, un subproducto del polisilicio modificado del proceso Siemens