ISO 23170:2022
Análisis químico de superficies. Perfilado en profundidad. Perfilado en profundidad no destructivo de películas delgadas de óxido de metales pesados a nanoescala sobre sustratos de Si con dispersión de iones de energía media.
- Estándar No.
- ISO 23170:2022
- Fecha de publicación
- 2022
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 23170:2022
- Alcance
- Este documento especifica un método para el perfilado cuantitativo en profundidad de películas ultrafinas de óxido de metales pesados amorfos sobre sustratos de Si utilizando dispersión de iones de energía media (MEIS).
ISO 23170:2022 Documento de referencia
- ISO 18115 Análisis químico de superficies - Vocabulario; Enmienda 2
ISO 23170:2022 Historia
- 2022 ISO 23170:2022 Análisis químico de superficies. Perfilado en profundidad. Perfilado en profundidad no destructivo de películas delgadas de óxido de metales pesados a nanoescala sobre sustratos de Si con dispersión de iones de energía media.
