TS 62607-6-4-2016 Nanofabricación – Características de control clave – Parte 6-4: Grafeno – Medición de conductancia de superficie utilizando cavidad resonante (Edición 1.0)
Esta parte de IEC 62607 establece un método para determinar la conductancia superficial de estructuras de grafeno de nanocarbono atómicamente delgadas, bidimensionales (2D), monocapa o multicapa. Estos se sintetizan mediante deposición química de vapor (CVD) @ crecimiento epitaxial sobre carburo de silicio (SiC) @ obtenido a partir de óxido de grafeno reducido (rGO) o exfoliado mecánicamente a partir de grafito [3]. Las mediciones se realizan en una configuración de guía de ondas rectangular R100 estándar llena de aire en uno de los modos de frecuencia resonante, típicamente a 7 GHz [4]. La medición de la conductancia superficial mediante cavidad resonante implica monitorear el cambio de frecuencia resonante y el cambio en el factor de calidad antes y después de la inserción de la muestra en la cavidad en una correlación cuantitativa con el área de superficie de la muestra. Esta medición no depende explícitamente del espesor de la capa de nanocarbono. No es necesario conocer el espesor de la muestra, pero se supone que la dimensión lateral es uniforme en toda el área de la muestra.
TS 62607-6-4-2016 Historia
2016TS 62607-6-4-2016 Nanofabricación – Características de control clave – Parte 6-4: Grafeno – Medición de conductancia de superficie utilizando cavidad resonante (Edición 1.0)