T/SZMES 3-2021
Determinación de la tensión de la película: método de curvatura del sustrato (Versión en inglés)
- Estándar No.
- T/SZMES 3-2021
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- Group Standards of the People's Republic of China
- Ultima versión
- T/SZMES 3-2021
- Alcance
- Este documento especifica los términos y definiciones para la determinación de la tensión de la película según el método de flexión del sustrato, que incluye: sustrato, película, muestra, espesor, recubrimiento, tecnología de deposición física de vapor y radio de curvatura. Principio de medición: mida el radio de curvatura del sustrato antes y después del recubrimiento de una cara, el radio de curvatura inicial del sustrato y el radio de curvatura del sustrato (superficie recubierta) y calcule la tensión de la película utilizando la fórmula de Stoney.
T/SZMES 3-2021 Historia
- 2021 T/SZMES 3-2021 Determinación de la tensión de la película: método de curvatura del sustrato
