Este documento especifica los términos y definiciones de polvo de grafito de pureza ultraalta para monocristal de carburo de silicio de grado semiconductor, especificaciones de materiales, requisitos básicos, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, etiquetado, embalaje, transporte y almacenamiento, y compromisos de calidad. Este documento se aplica al polvo de grafito para monocristal de carburo de silicio de grado semiconductor con una pureza de 5 N (99,999 % en peso) o superior.
T/ZZB 2283-2021 Historia
2021T/ZZB 2283-2021 Polvo de grafito de pureza ultraalta para cristal semiconductor de carburo de silicio