NF EN 62047-3:2006 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 3: probetas estandarizadas de película delgada para ensayos de tracción.
2006NF EN 62047-3:2006 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 3: probetas estandarizadas de película delgada para ensayos de tracción.