Basado en las características de rendimiento del material del monocristal de carburo de silicio y combinado con el nivel de investigación actual de la tecnología de inspección de calidad del cristal de carburo de silicio nacional, este documento estipula el principio de medición, la garantía de precisión de la medición, los pasos de medición, etc. del oscilación del monocristal de carburo de silicio. curva. La estructura principal y el contenido de este documento son los siguientes: El capítulo temático de este documento se divide en 9 capítulos. Los contenidos principales incluyen: alcance, documentos normativos de referencia, términos y definiciones, principios de prueba, instrumentos de prueba, factores de interferencia, entorno de prueba. , muestras de prueba, procedimientos de prueba, precisión, informes de prueba y apéndices.
T/IAWBS 016-2022 Historia
2022T/IAWBS 016-2022 Método de prueba FWHM de curva oscilante de doble cristal de rayos X para oblea única de carburo de silicio