Esta norma especifica la clasificación, los requisitos, los métodos de prueba, las reglas de inspección, el marcado, el embalaje, el transporte, el almacenamiento, el certificado de calidad y el contenido del formulario de pedido (o contrato) de los anillos cerámicos de nitruro de silicio para la producción de polisilicio. Esta norma se aplica a los anillos de porcelana de nitruro de silicio (en adelante, anillos de porcelana) utilizados en la producción de polisilicio.
T/CNIA 0014-2019 Historia
2019T/CNIA 0014-2019 Anillos de porcelana para la producción de polisilicio.