GB/T 38976-2020
Método de prueba para la concentración de oxígeno en materiales de silicio: método de detección infrarroja por fusión de gas inerte (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 38976-2020
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2020
- Organización
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Ultima versión
- GB/T 38976-2020
- Alcance
- Esta norma especifica el método para probar el contenido de oxígeno en materiales de silicio mediante fusión de gas inerte y tecnología infrarroja. Este estándar es adecuado para probar el contenido de oxígeno en silicio monocristalino y silicio policristalino con diferentes tipos de conductividad y diferentes rangos de resistividad. El rango de prueba es 2.5×1 510 cm-3 (0.05ppma) ~ 2.5×1018cm-3 (50ppma). Nota: El contenido de oxígeno en los materiales de silicio se mide en átomos por centímetro cúbico.
GB/T 38976-2020 Documento de referencia
- GB/T 14264 Materiales semiconductores-Términos y definiciones
- GB/T 1557 Método de prueba para determinar el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante absorción infrarroja.
GB/T 38976-2020 Historia
- 2020 GB/T 38976-2020 Método de prueba para la concentración de oxígeno en materiales de silicio: método de detección infrarroja por fusión de gas inerte
