Este documento estipula los grados y categorías, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento, documentos adjuntos y contenido del formulario de pedido del polisilicio de grado electrónico para circuitos integrados. Este documento se aplica al polisilicio de grado electrónico para circuitos integrados (en adelante denominado "polisilicio") elaborado a partir de clorosilanos y silanos.
T/ICMTIA SM0028-2022 Historia
2022T/ICMTIA SM0028-2022 Polisilicio de grado electrónico para circuitos integrados.