NF EN 62047-11:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales autónomos para sistemas microelectromecánicos

Estándar No.

NF EN 62047-11:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-11:2014

NF EN 62047-11:2014 Historia

• 2014 NF EN 62047-11:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales autónomos para sistemas microelectromecánicos