IEC TS 62607-9-1:2021 Nanofabricación - Características de control clave - Parte 9-1: Mediciones de campos magnéticos parásitos a nanoescala resueltas espacialmente trazables - Microscopía de fuerza magnética
2021IEC TS 62607-9-1:2021 Nanofabricación - Características de control clave - Parte 9-1: Mediciones de campos magnéticos parásitos a nanoescala resueltas espacialmente trazables - Microscopía de fuerza magnética