GB/T 41064-2021
Análisis químico de superficies—Perfiles de profundidad—Método para la determinación de la velocidad de pulverización catódica en espectroscopía fotoelectrónica de rayos X, espectroscopia de electrones Auger y espectrometría de masas de iones secundarios perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando películas delgadas de una o varias capas (Versión en inglés)