UNE-EN 62047-12:2011
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada mediante vibración resonante de estructuras MEMS (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)

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Fecha de publicación

2012

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ES-UNE

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UNE-EN 62047-12:2011 Historia

• 2012 UNE-EN 62047-12:2011 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada mediante vibración resonante de estructuras MEMS (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)