DB53/T 501-2013 Espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente para la determinación del contenido del elemento de impureza triclorosilano en polisilicio (Versión en inglés)
Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China
Ultima versión
DB53/T 501-2013
Alcance
Esta norma especifica un método para determinar el contenido de impurezas de boro, hierro, aluminio, calcio, cobre, cromo, níquel, antimonio, cobalto, zinc, estaño, titanio y manganeso en triclorosilano para silicio policristalino mediante espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de elementos de impureza de boro, hierro, aluminio, calcio, cobre, cromo, níquel, antimonio, cobalto, zinc, estaño, titanio y manganeso en triclorosilano utilizado para la producción de silicio policristalino mediante la versión modificada. Método Siemens.
DB53/T 501-2013 Historia
2013DB53/T 501-2013 Espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente para la determinación del contenido del elemento de impureza triclorosilano en polisilicio