Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, etiquetado, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para 100 ppm de gas mixto de hidrógeno y neón para circuitos integrados. Este documento se aplica a una mezcla de gas de hidrógeno/neón de 100 ppm para circuitos integrados (en lo sucesivo, 100 ppm de hidrógeno/neón). Los gases mixtos de hidrógeno y neón con otras proporciones de componentes se pueden implementar como referencia.
T/CHBAS 36-2023 Historia
2023T/CHBAS 36-2023 Gas mixto para circuitos integrados 100ppm hidrógeno/neón