UNE-EN 62047-16:2015
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: Métodos de ensayo para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo (Ratificado por AENOR en agosto de 2015.)
- Estándar No.
- UNE-EN 62047-16:2015
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- ES-UNE
- Ultima versión
- UNE-EN 62047-16:2015
UNE-EN 62047-16:2015 Historia
- 2015 UNE-EN 62047-16:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: Métodos de ensayo para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo (Ratificado por AENOR en agosto de 2015.)
