Este documento especifica los términos y definiciones de monómeros fotorresistentes de fluoruro de argón para circuitos integrados, metacrilatos líquidos Parte 1, tipos de productos y características estructurales, requisitos técnicos, métodos de análisis y detección, requisitos de proceso, requisitos de embalaje, almacenamiento y transporte.
T/ICMTIA 4.1-2020 Historia
2020T/ICMTIA 4.1-2020 Monómero fotorresistente ArF para circuitos integrados Parte 1: Metacrilato líquido