T/NXCL 016-2022
Oblea pulida de silicio Czochralski monocristalino fuertemente dopada con antimonio de 200 mm (Versión en inglés)

Estándar No.
T/NXCL 016-2022
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2022
Organización
Group Standards of the People's Republic of China
Ultima versión
T/NXCL 016-2022
Alcance
Este documento especifica la clasificación del producto, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las especificaciones de inspección y el marcado, el embalaje, el transporte, los contenidos como el almacenamiento, el contenido y la calidad del formulario de pedido (o contrato). compromisos. Los requisitos técnicos incluyen materias primas, propiedades físicas, composición química, parámetros geométricos, defectos inducidos por la oxidación, calidad de la superficie, perfil del borde, etc. Los métodos de prueba incluyen tipo de conductividad, resistividad, cambio de resistividad, contenido de oxígeno intersticial, contenido de oxígeno radial, contenido de carbono, contenido de metal de la superficie, contenido de metal del cuerpo (hierro), orientación del diámetro del cristal y desviación de la orientación del cristal, cambios de espesor y espesor total, medición o inspección. métodos para curvatura, alabeo, planitud y planitud local, defectos inducidos por la oxidación, calidad de la superficie, dispersores de luz locales (contaminación por partículas pequeñas) y mediciones del perfil de los bordes. Las reglas de inspección se dividen en inspección de fábrica e inspección de tipo.

T/NXCL 016-2022 Historia

  • 2022 T/NXCL 016-2022 Oblea pulida de silicio Czochralski monocristalino fuertemente dopada con antimonio de 200 mm



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