SJ/T 31120-1994
Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para los sistemas de alineación y exposición de máscaras KSM-MJB3 (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 31120-1994

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Organización

Professional Standard - Electron

Estado

Retirar 2010-02

Ultima versión

SJ/T 31120-1994

Alcance

Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación de la máquina de exposición de alineación de máscaras KSM-MJB3; esta norma es aplicable a la máquina de exposición alemana KSM-MJB3; también es aplicable a las máscaras alemana KSM, MA56 y americana CA800. la máquina de exposición.

SJ/T 31120-1994 Historia

• 1970 SJ/T 31120-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para los sistemas de alineación y exposición de máscaras KSM-MJB3