Esta especificación especifica la terminología, modelos de productos y métodos de denominación, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, embalaje, transporte y almacenamiento de sistemas de epitaxia en fase líquida horizontal. Esta especificación se aplica a sistemas epitaxiales de fase líquida horizontal en el proceso de desarrollo y producción de dispositivos optoelectrónicos en la industria electrónica. También se pueden implementar como referencia equipos similares en otras industrias.
SJ/T 11275-2002 Historia
2002SJ/T 11275-2002 Especificación genérica para el sistema epitaxial horizontal en fase líquida.