Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación de la máquina clasificadora 786-HT. Esta norma se aplica a las máquinas clasificadoras de prueba en la producción de dispositivos semiconductores.
SJ/T 31103-1994 Historia
1970SJ/T 31103-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para los separadores 786-HT