SJ 20636-1997 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica el método para medir la distribución radial del contenido de oxígeno intersticial en microáreas y el contenido de carbono sustitucional en obleas de silicio con un espesor de 0,3 a 2,0 mm. Esta norma es aplicable a la determinación de la distribución radial del contenido de oxígeno intersticial y microáreas de contenido de carbono sustituido en obleas de silicio con resistividad a temperatura ambiente superior a 0,1Ω.cm. Rango de medición. Para el contenido de oxígeno intersticial es 3,0 × 10 ^ (16) at. cm^(-3) a la máxima solubilidad sólida del oxígeno intersticial en silicio; ya que el contenido de carbono sustituido es 5,0×10^(15)at. cm^(-3) hasta la máxima solubilidad sólida del carbono sustituido en silicio.

SJ 20636-1997 Historia

1997 SJ 20636-1997 Método de prueba para el contenido de oxígeno y carbono de una oblea de silicio delgada de gran diámetro en una microzona para uso en circuitos integrados