SJ/T 31121-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para los sistemas de exposición y alineación de máscaras JB-VⅡ (Versión en inglés)
Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación de la máquina de exposición de alineación de máscaras JB-VⅡ. Esta norma solo se aplica a las máquinas de exposición de alineación de máscara tipo B-VⅡ y a las máquinas de exposición de alineación de máscara tipo JB-IV, tipo JB-VH y tipo JB-Ⅲ.
SJ/T 31121-1994 Historia
1970SJ/T 31121-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para los sistemas de exposición y alineación de máscaras JB-VⅡ