SJ/T 10274-1991
Métodos de prueba de alineación de máscaras y sistema de exposición. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 10274-1991

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1991

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 10274-1991

Alcance

Esta norma especifica los requisitos y métodos generales para probar las máquinas de exposición de alineación de máscaras. Esta norma se aplica a las máquinas de exposición por contacto y por proximidad.

SJ/T 10274-1991 Historia

• 1991 SJ/T 10274-1991 Métodos de prueba de alineación de máscaras y sistema de exposición.