Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación de la máquina pulidora 3800. Esta norma se aplica a las máquinas procesadoras y pulidoras de obleas utilizadas en la producción de dispositivos semiconductores.
SJ/T 31064-1994 Historia
1970SJ/T 31064-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para las máquinas pulidoras Tipo 3800