Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación del secador centrífugo RD-4500. Esta norma se aplica a la secadora centrífuga RD-4500. También se pueden implementar como referencia secadores centrífugos de estructura similar utilizados en la producción de otros dispositivos semiconductores y circuitos integrados.
SJ/T 31062-1994 Historia
1970SJ/T 31062-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para hidroextractores RD4500.