SJ/T 10627-1995 Métodos de prueba para la caracterización de la precipitación de oxígeno de obleas de silicio mediante la medición de la reducción de oxígeno intersticial (Versión en inglés)
Esta norma se aplica a resistividades a temperatura ambiente superiores a 0,1 Ω. cm Oblea de silicio Czochralski tipo N o tipo P, su ciclo térmico puede ser de temperatura única o temperatura dual.
SJ/T 10627-1995 Historia
1995SJ/T 10627-1995 Métodos de prueba para la caracterización de la precipitación de oxígeno de obleas de silicio mediante la medición de la reducción de oxígeno intersticial