SJ/Z 2926-1988
Métodos de prueba para determinar las propiedades de los equipos de fabricación de máscaras para la fabricación de circuitos integrados. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/Z 2926-1988

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1988

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/Z 2926-1988

Alcance

Este documento técnico rector es aplicable a los principales métodos de prueba de rendimiento de tres tipos de equipos de fabricación de placas ópticas: máquinas automáticas de grabado (dibujo), generadores de patrones y cámaras de reducción. El propósito de la prueba es verificar si los indicadores de desempeño técnico del equipo cumplen con el diseño original o los requisitos de uso. Los métodos de prueba de rendimiento no especificados en este documento técnico rector se especificarán por separado en los documentos técnicos de varios tipos de equipos.

SJ/Z 2926-1988 Historia

• 1988 SJ/Z 2926-1988 Métodos de prueba para determinar las propiedades de los equipos de fabricación de máscaras para la fabricación de circuitos integrados.