SJ/T 10312-1992
Especificación general del sistema de exposición al haz de electrones. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 10312-1992

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1992

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 10312-1992

Alcance

Esta norma especifica la terminología, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las reglas de inspección, etc. de las máquinas de exposición a haces de electrones. Esta norma se aplica a las máquinas de exposición a haces de electrones para la producción de patrones finos, como circuitos integrados, dispositivos de microondas, dispositivos optoelectrónicos y dispositivos de ondas acústicas de superficie.

SJ/T 10312-1992 Historia

• 1992 SJ/T 10312-1992 Especificación general del sistema de exposición al haz de electrones.