SJ/T 10481-1994
Método de prueba de resistividad de capas epitaxiales de silicio mediante técnicas de tres sondas de contactos de área (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 10481-1994

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1994

Organización

Professional Standard - Electron

Estado

Retirar 2010-02

Ultima versión

SJ/T 10481-1994

Alcance

Esta norma especifica el método de tres sondas de contacto superficial para medir la resistividad de las capas epitaxiales de silicio. Esta norma es aplicable a la medición de resistividad de capas epitaxiales de silicio tipo N/N^(+) o P/P^(+) de 0,06-60∩cm.

SJ/T 10481-1994 Historia

• 1994 SJ/T 10481-1994 Método de prueba de resistividad de capas epitaxiales de silicio mediante técnicas de tres sondas de contactos de área