SJ 20714-1998 Método de prueba para determinar el daño subsuperficial de una oblea pulida con arseniuro de galio mediante difracción de doble cristal de rayos X (Versión en inglés)
Esta norma especifica el método de prueba de difracción de cristales gemelos de rayos X para la capa subdañada de láminas pulidas de arseniuro de galio. Esta norma es aplicable a la medición cualitativa de la capa subdañada de obleas de arseniuro de galio que han sido pulidas química y mecánicamente por una cara y por ambas caras.
SJ 20714-1998 Historia
1998SJ 20714-1998 Método de prueba para determinar el daño subsuperficial de una oblea pulida con arseniuro de galio mediante difracción de doble cristal de rayos X