SJ 20711-1998
Especificaciones generales para sistemas de exposición escalonada y repetida. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ 20711-1998

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1998

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ 20711-1998

Alcance

Esta norma especifica la clasificación, los requisitos, las normas de garantía de calidad y la preparación de entrega de las máquinas de proyección y exposición paso a paso. Esta norma se aplica a equipos de microlitografía para circuitos integrados de muy gran escala (VLSI) y chips integrados de aplicaciones específicas (ASIC) y otros dispositivos. También se pueden utilizar como referencia otros tipos de máquinas de exposición.

SJ 20711-1998 Historia

• 1998 SJ 20711-1998 Especificaciones generales para sistemas de exposición escalonada y repetida.