GB/T 38614-2020 Método de medición para nanoposicionamiento y etapa de escaneo basado en un mecanismo de bisagra flexible y un actuador piezoeléctrico (Versión en inglés)
Esta norma especifica las condiciones de medición, el sistema de medición y los métodos de medición de una plataforma de nanoposicionamiento y escaneo (en adelante, la plataforma) basada en un mecanismo de bisagra flexible y un actuador cerámico piezoeléctrico. Esta norma se aplica a la investigación, diseño, producción, prueba y uso de plataformas.
GB/T 38614-2020 Documento de referencia
GB/T 11336 Medición de desviaciones de la rectitud.
GB/T 38616-2020 Terminología para la etapa de escaneo y nanoposicionamiento
GB/T 38614-2020 Historia
2020GB/T 38614-2020 Método de medición para nanoposicionamiento y etapa de escaneo basado en un mecanismo de bisagra flexible y un actuador piezoeléctrico