NF EN 62047-13:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: métodos de prueba de curvatura y corte para medir la resistencia de adhesión para estructuras MEMS

Estándar No.

NF EN 62047-13:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-13:2012

NF EN 62047-13:2012 Historia

• 2012 NF EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: métodos de prueba de curvatura y corte para medir la resistencia de adhesión para estructuras MEMS