Esta norma especifica la terminología relevante para la tecnología de fotoenmascaramiento de microelectrónica. Esta norma se aplica a la investigación científica, la producción, la enseñanza, el comercio y el intercambio técnico de tecnología de enmascaramiento de luz para electrónica de moldes.
SJ/T 10584-1994 Historia
1970SJ/T 10584-1994 Glosario de técnicas de fotoenmascaramiento para microelectrónica.