Esta norma especifica los métodos de prueba de rendimiento de la bomba de iones de pulverización catódica. Esta norma se aplica a bombas de iones con velocidades de bombeo superiores a 10 L (-1).
JB/T 2965-1992 Historia
1992JB/T 2965-1992 Método de prueba de rendimiento de la bomba de iones de pulverización catódica.