JB/T 8946-1999 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de equipos de revestimiento iónico al vacío. Esta norma es aplicable a equipos de revestimiento iónico al vacío con una presión en el rango de 10^(-4)~10^(-3)Pa, incluyendo específicamente los siguientes tipos: revestimiento iónico de arco múltiple, revestimiento iónico al vacío con descarga de arco, hueco revestimiento de iones catódicos (HCD), revestimiento de iones de radiofrecuencia (RFIP), tipo de diodo de descarga de corriente continua (DCIP), tipo multicátodo, revestimiento de evaporación reactiva activa (ARE), ARE mejorado, revestimiento de iones de plasma de baja presión (LFPD), Revestimiento de iones por evaporación de campo eléctrico, revestimiento de iones por calentamiento por inducción, revestimiento de haces de iones en racimo, etc. Nota: El revestimiento iónico utiliza una descarga de gas para separar parcialmente el gas o el material evaporado en condiciones de vacío y deposita el material evaporado o sus reactivos en el sustrato mientras es bombardeado por iones de gas o iones de material evaporado.

JB/T 8946-1999 Historia