GB/T 36401-2018 Análisis químico de superficies: espectroscopia de fotoelectrones de rayos X: informes de resultados de análisis de películas delgadas (Versión en inglés)
Esta norma internacional proporciona una declaración de la cantidad mínima de información requerida para informar el análisis de películas delgadas sobre sustratos utilizando XPS. Estos análisis involucraron mediciones de la composición química y el espesor de películas uniformes, así como mediciones de la composición química de películas no homogéneas en función de la profundidad mediante XPS de ángulo variable, perfiles de profundidad de pulverización catódica XPS, análisis de forma de pico y XPS de energía de fotones variable.
GB/T 36401-2018 Documento de referencia
ISO 18115-1:2010 Análisis químico de superficies - Vocabulario - Parte 1: Términos generales y términos utilizados en espectroscopia
GB/T 36401-2018 Historia
2018GB/T 36401-2018 Análisis químico de superficies: espectroscopia de fotoelectrones de rayos X: informes de resultados de análisis de películas delgadas