GB/T 40279-2021 (Versión en inglés)

Alcance: Este documento especifica el método para medir el espesor de la película de dióxido de silicio y la película de polisilicio en la superficie de una oblea de silicio mediante el método de reflexión óptica. Este documento es adecuado para probar el espesor de películas superficiales de dióxido de silicio y películas de polisilicio cultivadas en la superficie de oblea de silicio, y también para todas las películas lisas, transparentes o translúcidas con bajo coeficiente de absorción, como silicio amorfo, nitruro de silicio, tipo diamante. Recubrimiento, fotorresistente y otras películas de superficie. El rango de prueba es de 15 nm a 105 nm.

GB/T 40279-2021 Documento de referencia

2021 GB/T 40279-2021 Método de prueba para determinar el espesor de películas sobre la superficie de una oblea de silicio: método de reflexión óptica